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    公开号:WO1991001044A1
    申请号:PCT/JP1990/000863
    申请日:1990-07-04
    公开日:1991-01-24
    发明作者:Akira Tabuchi；Morihiko Nakamura
    申请人:Otsuka Kagaku Kabushiki Kaisha；
    IPC主号:H01L21-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 ゥ ェ — ハ保持用 成形物
    [0002] (技術分野 ）
    [0003] 本発 明 は ゥ エ ー ハ保持用 成 形物 に 閧 す る 。 更に詳 し く は 、 本発 明 は半導体 ゥ エ ー ハ 又は液晶 テ レ ビ 用 ラ ス 板の 汚染 を 防止 し 、 安全 に搬送 し 、 又、 驭衲保管 し 得 る 成形物 に 関 す る 。
    [0004] (背景技術 ）
    [0005] 半導体製造工程では ゥ エ ー ハ は 一般 に ゥ エ ー ハバ ス ケ ッ ト や キ ヤ リ ァ 用 治具 に収衲 さ れ て工程間 を 移動す る 、 い わ ゆ る カ セ ッ ト ♦ ツ ー ♦ カ セ ッ ト 方式 で ゥ エ ー ハ を 取 り 扱 う こ と に よ り 半導体の 生産量は飛躍的 に 高 め ら れ て き た 0 ゥ ェ 一 ハ 製造プ ロ セ ス は 全 て塵埃 を 少 な く し た ク リ 一 ル ー ム の 内部ゃ ク リ 一 ン ベ ン チ の 内 部で行わ れ、 半導体 ゥ ェ ー ハ の 表面 を 常 に清浄 に保つ て い る
    [0006] 従来の ゥ ェ — ハバ ス ケ ッ ト は 洗浄、 乾燥、 搬送、 移 し か え 等の容易性か ら 両側及 び上部が開放 に な っ て お り 、 又、 キ ャ リ ア ー 用 治具 に お い て も ゥ エ ー 八が裸 に な っ て い る こ と が多 い。 こ の た め 、 ゥ エ ー ハ が ク リ 一 ン ル ー ム 中 に残存す る 小 さ な 塵埃等に よ っ て汚染 さ れ る 可能性が高 い 。 そ こ で、 搬送及 び保管は通常、 ゥ ェ
    [0007] — ヽ ^ ス ケ ッ ト を密閉式の ボ ッ ク ス の 中 に収衲 し て行 わ れ る が、 汚染の可能性 を 無視 し て ゥ エ ー ハ パ ス ケ ッ ト の ま ま で搬送が行わ れた り 、 又、 キ ャ リ ア 用 治具 に ゥ ェ ~ ハ を 開放の ま ま で搬送が行 わ れ る こ と も 多 い 。 半導体素子を形成す る パ タ ー ン 幅が広い時に は小さ な 塵埃の影響は無視で き たが、 L S I 、 超 L S I と 高集 積化が進みバ タ 一 ン幅が狭 く な る と 0 . 1 # m程度の小さ な塵埃で も 悪影響を及ぼす よ う にな る 。 従っ てこ の ゥ エ ー ハ表面への塵埃付着防止は ま す ま す重要になっ て き てい る 。
    [0008] 又、 従来の キ ャ リ ア 用治具、 洗浄用 ゥ エ ー ハパ ス ケ ッ ト 、 乾燥用バ ス ケ ッ ト 、 搬送用バ ス ケ ッ ト 、 驭衲用 ケ ー ス は合成樹脂成形物が主流で あ り ほ と ん ど多 く が ポ リ プ ロ ピ レ ン （ Ρ Ρ )等の樹脂 を そ の—ま ま （非強化の ま ま ）成形 し た带電性の絶緣成形体で あ る 。 こ のため キ ャ リ ア 用治具及 びバ ス ケ ッ ト 、 収納ケ ー ス が ゥ エ ー 八 に よ って傷つ け ら れ、 塵埃 を発生 し た り 、 帯電す る こ と に よ り 塵埃 を 引 き 付けた り し、 ゥ エ ー ハ の塵埃の 付着 を促進 し不良率 を 高 く し てい る のが現状で あ る 。 又、 非強化の為、 洗浄用 あ る い は乾燥用バ ス ケ ッ ト に 使用 し た場合は、 熱時剛性が不足す る 欠点 も あ っ た 。 こ れに対 し キ ャ リ ア 用治具、 バ ス ケ ッ ト 、 収衲 ケ 一 ス 等の ゥ エ ー ハ保持用成形体がガ ラ ス フ ァ イ バー 、 一ボ ン フ ァ イ バ ー 、 チ ョ ッ プ ド フ ァ イ バ 一 等 で補強さ れた場合は、 ミ ク ロ 的 に 見て成形品の極表面 ま で補強 す る こ と は 'で き ず ゥ エ ー ハ で傷つ け ら れた り 、 又、 こ れ ら は モ ー ス硬度が 6 〜 "？ と 高い ため、 ゥ エ ー ハ 自 体 も 傷つけ ら れる こ と が常で あった。
    [0009] 一方、 带電防止 ½理 を施す には、 カ ー ボ ン ブ ラ ッ ク を添加す る 方法が一般的で あ る が、 カ ー ボ ン ブ ラ ッ ク が非常 に細かい こ と と 樹脂への相溶性が非常 に悪 く ゥ エ ー ハ と の摩擦、 摩耗 に よ り — ポ ン プ ラ ッ ク が脱落 飛散 し て ゥ ェ — ハ を 汚染 す る こ と が多 い 。 又、 帯電 防 止剤 と し て 界面活性剤 も 検討 さ れたが、 带電 防止効果 は 長緣 き せ ず 絶緣体成 形物 と 同様 に塵埃 を 引 き 付け る よ う に な る ばか り で な く 、 僅かな 界面活性剤 の 蒸気で さ え 、 ゥ エ ー ハ 表面 を 暴 ら せ る 大 き な 欠点 と な り う る の で あ る 。
    [0010] 更 に 、 液晶バ ネ ル に お い て も 、 表示画面の 高 精度化 が急速 に進展 し て V、 る た め 、 使用 さ れ る ガ ラ ス 基板が 薄膜化 し 、 薄膜化 し た ラ ス 基板 に は半導体 ゥ エ ー ハ に対 す る の と 同様の こ と が要求さ れて い る 。
    [0011] 本発 明者は 、 上記従米技術の 欠点 を 解消 す べ く 鋭意 研究 を重ねた。 そ の 結果、 洗浄工程 に お け る 空気の ま き こ み及 び 乾燥工程 に お け る 空気の 带電が ゥ エ ー ハ汚 染の 大 き な 原因 と な る こ と が判 明 し た。 即 ち 、 洗诤は ゥ エ ー ハ の 入っ たパ ス ケ ッ ト を そ の ま ま 洗诤液 （酸、 ア ル カ リ 等 ）に浸漬 し て行わ れ、 そ の 際 に、 ゥ エ ー ハ 表面 に 多数の 気泡が付着 し 、 該気泡中 に 含 ま れ る 塵埃 等 に よ り ゥ エ ー ハ が汚染 さ れ る 。 又、 乾燥が行わ れ る 空気の温度は 2 0 0で 前後で あ る た め 、 空気の流れが早 い と 空 気が帯電 し 、 ひ い て はバ ス ケ ッ ト が帯電 し て塵 埃等 を 引 き つ け、 ゥ エ ー ハが汚染 さ れ る 。
    [0012] 更 に 、 かか る 洗浄及 び乾燥工程 に お け る ゥ エ ー ハ の 汚染 を 防止で き れば、 製造工程全般 に お け る ゥ エ ー ハ の 汚染 を 荠 し く 防止で き る こ と も 判 明 し た。
    [0013] 本発 明 の 目 的 は 洗浄、 乾燥、 移動又は収衲保管す る 間 、 特に洗浄及 び 乾燥の 間 に 、 ゥ エ ー ハ への 塵埃及 び 異物の付着 す る こ と を 防止で き 、 ゥ エ ー ハ に よ っ て傷 つ き に. く ぐ 、 ゥ エ ー ハ 自 体 も 傷つ き に く い ゥ エ ー ハ保 持用成形物 を 提供 す る こ と に あ る 。
    [0014] 又、 本発 明の 目 的 は 洗浄及 び乾燥用 パ ス ケ ッ ト に要 求 さ る 、 熱時強度（剛性 も 含 む ）を 改良 さ れた ゥ エ ー ハ保持用 成形物 を提供す る こ と に あ る 。
    [0015] 更 に本発 明の 目 的 は液晶 テ レ ビ 用 ガ ラ ス 板の 洗浄、 乾燥、 搬送'又は収衲保管に も 使用 で き る ゥ エ ー ハ保持 用 成形物 を.提供す る こ と に あ る 。
    [0016] 更 に 本発明の 目 的 は上記 ゥ エ ー ハ保持用 成形物 を 、 特別 な取 り 扱い を 必要 と せず 且つ低 コ ス ト で提供 す る と め る 。
    [0017] 上記本発 明 の 目 的、 特に浼浄及 び乾燥工程 に お け る ゥ エ ー ハ n 染 防止は、 ゥ イ ス カ ー を 含 む熱可塑性樹 脂か ら な る 成形物（パ ス ケ ッ ト 等）を 用 い る こ と に よ り 達成 さ れ る 。
    [0018] (発明 の 開示 ）
    [0019] 即 ち本癸 明 は ウ イ ス カ — に て補強 さ れた熱可塑性樹 脂 か ら 成 る ゥ エ ー ハ保持用 成形物 に係 る 。
    [0020] 本発 明 に おい て ゥ イ ス * 一 と し て は ホ ウ 酸 ア ル ミ 二 ゥ ム ゥ イ ス カ ー 、 炭化 ケ ィ 素 ゥ イ ス カ ー 、 窒化 ケ ィ 素 ゥ イ ス カ ー 、 酸化亜鉛 ウ イ ス カ ー 、 塩基性硫酸 マ グ ネ シ ゥ ム ゥ イ ス カ ー 、 酸化マ グ ネ シ ウ ム ウ イ ス カ 一 、 黑 鉛 ゥ イ ス ；^ 一 、 チ タ ン 酸 カ リ ウ ム ゥ イ ス カ ー 、 ホ ウ 酸 マ グ ネ シ ウ ム ウ ィ ス ^ ー 、 2 ホ ウ 化 チ タ ン ウ イ ー 硫酸 カ ル シ ウ ム ウ イ ス カ ー 、 導電性チ タ ン 酸 リ ゥ ム ウ イ ス 一 等 を例示 す る こ と が で き る 。 こ れ ら の う ち ゥ イ ス カ ー の性能、 形状、 硬度、 コ ス ト 等 か ら チ タ ン 酸 カ リ ウ ム ゥ イ ス カ ー 、 導電性 チ タ ン 酸 リ ウ ム ウ イ ス カ ー 、 酸化亜鉛 ウ イ ス カ ー 、 黒鉛 ウ イ ス カ ー が好 ま し い 。
    [0021] チ タ ン 酸 * リ ウ ム ゥ イ ス カ ー は 、
    [0022]
    [0023] (式 中 、 《> は 8 以下の実数 を 示 す ）で表わ さ れ、 な か で も 平均織維径 0.01〜 1 # m、 平均緣維 長 1 〜 100 J" M、 平均蛾維 ΛΖ平均糠維径比（ァ ス ぺ ク ト 比）が 10以上の も の が特 に 好 ま し い 。
    [0024] 導電性 チ タ ン 酸 カ リ ウ ム ウ イ ス カ 一 は 、
    [0025] K 20 - n( T i 0 2 - x)
    [0026] (式 中 、 n は 8 以下の実数、 Κは 2 未満の実数 を 意味す る 。 ）で表 わ さ れ、 な かで も 平均錄維径 0.01 ~ 1 β en, 平均蛾維 長 1 - 100 ァ ス ぺ ク ト 比が 10以上の も の が特 に 好 ま し い 。
    [0027] 又 、 そ の 他 の 導 電性 チ タ ン 酸 カ リ ウ ム ゥ イ ス カ ー も 使用 で き 、 例 え ば無電解 メ ツ キ 法、 浸漬法 も し く は ス プ レ ー コ ー ト 法 等 に よ り 、 チ タ ン 酸 カ リ ウ ム ウ イ ス カ 一 の 表面 に金属、 金属酸化物等の導電性又は半導電性 の 物質 を 付着 さ せ又 は沈着 さ せ た も の も 使用 で き る 。
    [0028] 本発 明 で使用 さ れ る 熱可塑性樹脂 と し て は 、 製品の ゥ ェ — ハ 保持用 成形物が そ の 汚染物質 で あ る パ ー テ ィ ク ル 、 有機物、 金属類、 自 然酸化膜 を除 ,去す る 化学洗 浄工程 を 受 け る た め 、 ϊίί熱性 .. 面す薬品性 に優 れた も の が好 ま し く 、 例 え ば ボ リ ス チ レ ン 、 A B S 樹脂、 ボ リ フ エ 二 レ ン ォ キ シ ド 、 ア イ オ ノ マ ー 樹脂、 ポ リ エ チ レ ン 、 ポ リ プ ロ ピ レ ン 、 6 ナ イ ロ ン 樹脂、 6，6ナ イ ロ ン 樹脂、 芳香 族 ポ リ ア ミ ド 樹脂、 ポ リ カ ー ボ ネ ー ト 、 ポ リ ア セ タ ー ル 、 ポ リ フ エ 二 レ ン サ ル 7 ア イ ド 、 ト リ メ チ ル ペ ン テ ン樹脂、 ボ リ エ ー テ ル エ ー テ ル ケ ト ン （ P E E K )、 ポ リ エ ー テ ル ケ ト ン （ P E K )、 ポ リ サ ル フ オ ン （P S F )、 テ ト ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン / パ ー フ ル ォ π ア ル コ キ シ エ チ レ ン 共重合体（P F A )、 ポ リ エ ー テ ル ス ル ホ ン （ P E S )、 ハ イ テ ン ブ リ チ ヤ ー ァ モ ル フ ァ ス 樹脂 （ T A )、 ポ リ ア リ ル サ ル フ ォ ン （ P A S F )ゝ ポ リ エ ー テ ル ィ ミ ド （ P E I )、 液晶 ポ— リ マ ー （ L C P ) . ボ リ ビ ニ リ デ ン フ ル オ ラ ィ ド （ P V D F )、 エ チ レ ン / テ ト ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン 共重合体（ E T F E )、 テ ト ラ フ ル ォ n o チ レ ン / へ キ サ フ ル ォ 口 プ ロ ピ レ ン 共重合 体（F E P )、 テ ト ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン へ キ サ フ ル ォ _ロ プ ロ ピ レ ン / " ノヽ · 一 フ ル ォ ロ ア ル コ キ シ エ チ レ ン 三元 共重合体（E P E )等 を例示 す る こ と がで き る 。 そ の 中 で も 、 P E K、 P E E K , P E S 、 P E I 、 P S F 、 P A S F、 P F A、 F E P 、 H T A、 L C P 等が特 に 好 ま し い 。
    [0029] 本発 明 にお い て熱可塑性樹脂 と し て ポ リ プ ロ ピ レ ン (P P )を 用 い る 場合、 P P は通常 プ ロ ピ レ ン を チ ー グ ラ ー ナ ッ タ 触媒 に よ り 重合 し て製造さ れ る た め 、 そ の 触媒 を 吸収す る た め に塩酸吸収剤 を 用 い 、 又、 P P は 酸化 さ れや す い た め酸化防止剤 （も し く は過酸化物分 解剤 ）を添加 す る の が好 ま し く 、 そ の添加量 は酸化防 止剤 （も し く は過酸化物分解剤 ）が 10〜 ΙΟΟΟρριοの 範囲、 塩酸吸収 ¾が 200〜 500pmの範囲が好 ま し い 。 こ れ ら の 範囲外で は ゥ ェ — ハ保持用 成形物 と し て の 諸性能が低 下 す る 恐れが あ る 。
    [0030] 用 い ら れ る 酸化防止剤 （も し く ほ過酸化物分解剤 ） と し て は 、 フ エ ノ ー ル 系 と し て 2, 6— ジ ー tー ブ チ ル ー p 一 ク レ ゾ 一 ル 、 ブ チ ル化 ヒ ド ロ キ シ ァ 二 ソ ー ル （ B H A )、 2， 6— ジ ー tー ブ チ ル ー 4 一ェ チ ル フ エ ノ ー ル 、 ス テ ア リ ル ー ー （3，5— ジ ー tー ブ チ ル ー 4 一 ヒ ド σ キ シ フ エ ニ ル ）プ ロ ビ オ ネ 一 ト 、 2， 2， ー メ チ レ ン ビ ス （ 4 ー メ チ ル ー 6 — t一ブ チ ル フ エ ノ ー ル ）、 2, 2， ー メ チ レ ン ビ ス （ 4 ー ェ チ ル ー 6 — t—ブ チ ル フ エ ノ ー ル ）、
    [0031] 4, 4，ー チ ォ ビ ス （ 3 — メ チ ル ー 6 — t一ブ チ ル フ エ ノ ー ル ）、 4， 4，ー ブ チ リ デ ン ビ ス （ 3 — メ チ ル 一 6 — tー ブ チ ル フ エ ノ ー ル ）、 1, 1, 3— ト リ ス （ 2 — メ チ ル ー 4 一 ヒ ド 口 キ シ ー 5 — t一ブ チ ル フ エ ニ ル ）ブ タ ン 、 1，3，5 一 ト リ メ チ ル ー 2， 4， 6— ト リ ス （3，5— ジ ー tー ブ チ ル ー 4 ー ヒ ド ロ キ シ ベ ン ジ ル ）ベ ン ゼ ン 、 テ ト ラ キ ス 〔 メ チ レ ン一 3 — （3， ,5， ー ジ ー tー ブ チ ル ー 4 ， ー ヒ ド ロ キ シ フ エ 二 ル ）プ ロ ビ オ ネ ー ト 〕 メ タ ン 、 ビ ス 〔 3, 3，一 ビ ス （ 4 ， ー ヒ ド ロ キ シ ー 3 ，一 t一ブ チ ル フ エ ニ ル ）ブ チ リ ッ ク ァ シ ッ ド 〕 グ リ コ ー ル エ ス テ ル等 を 、 硫黄系 と し て ジ ラ ウ リ ル チ ォ ジ プ ロ ピ オ ネ ー ト 、 ジ ミ リ ス チ ル チ オ ジ ブ 口 ピ オ ネ ー ト 、 ジ ス テ ア リ ル チ オ ジ ブ 口 ピ ォ ネ ー ト 等 を 、 リ ン 系 と し て ト リ フ エ ニ ル ホ ス フ ア イ ト 、 ジ、 7 ェ ル イ ソ デ シ ル ホ ス フ ア イ ト 、 フ エ ニ ル ジ イ ソ デ シ ル ホ ス フ ア イ ト 、 4， 4 'ー ブ チ リ デ ン ビ ス （ 3 ー メ チ ル ー 6 — t一ブ チ ル フ エ 二 ル ー ジ ー ト リ デ シ ル ） ホ ス フ ァ イ ト 、 サ イ ク リ ッ ク ネ オ ペ ン タ ン テ ト ラ イ ル ビ ス （ ク タ デ シ ル ホ ス フ ア イ ト ）、 ト リ ス （ ノ ニ ノレ フ ェ - ル ）ホ フ ア イ ト 、 ト リ ス （モ ノ 及 び Ζ又は ジ ノ ニ ル フ エ 二 ル ） ホ ス フ ア イ ト 、 ジ イ ソ デ シ ル ペ ン タ エ リ ス リ ト ー ル ジ ホ ス フ ア イ ト 、 9， 1 0— ジ ヒ ド ロ ー 9 一 才 キ サ ー 1 0— ホ ス フ ァ フ ェ ナ ン ス レ ン 1 0— ォ キ サ イ ド 等 を举げ る こ と がで き る 。
    [0032] 又、 - 塩酸吸-収剤 と し て は例 え ば ス テ ア リ ン 酸 カ ル シ ゥ ム 、 ス テ ア リ ン 酸亜鉛等の脂肪酸金覊塩、 エ ポ キ シ 化.大豆油、 ハ イ ド ロ タ ル サ イ ト 等 が挙 げ ら れ る 。 上記 の酸化防止^ (も し く は遏酸化物分解剤 ）及 び塩酸吸驭 剤 は単独使用 又は併用使用 す る こ と が可能で あ る 。
    [0033] 本発明 に;お い て ゥ ィ ス カ ー の配合量は熱可塑性樹服 に対 し て通'常 5 50 W t %、 好 ま し く は 1 0 4 0 w t %の 範 囲 で あ る 。
    [0034] 本発明 に お い て、 ゥ イ ス ； ί 一 の 中で も 特 に導電性 チ タ ン 酸 リ ウ ム ゥ イ ス カ ー を配合 す る と 、 該 ゥ イ ス 力 一 が ミ ク ロ な 織維形状 を有 し て い る ため に ゥ ェ - ハパ ス ケ ッ ト 及び収納 ケ ー ス 全体 に均一分散 し ミ ク ロ の 各 部分 を よ り 一層均質 な導電値 に コ ン ト ロ ー ル す る こ と がで き る ばか り で な く 、 一層均質 な機械物性 を 付与す る こ と が で き る 。
    [0035] 本発明 の搬送用 ゥ エ ー ハ バ ス ケ ッ ト 、 収納 ケ ー ス 及 び キ ヤ リ ァ 用 治具等の ゥ エ - ハ保持用 成形物 は上記材 料 を 用 い る 以外は通常公知の 方法 に よ り 製造す る こ と が で き る 。 即 ち例 え ば上記 ゥ エ ー ハ保持用樹脂組成物 を ニ釉押出攒 用 い て押出ペ レ ッ ト 化 を 行い 、 こ れ を 射 出成形 す る こ と に よ り ゥ エ ー ハ保持用 成形物 を 製造 す る こ と が で き る 。
    [0036] 本発 明 の 成 形物は 、 塵埃 を 嫌 う 電子部品 、 微細配線 構造 を 必要 と す る 電子部品等のバ ス ケ ッ ト 等 と し て好 適 に使用 で き る 。 該電子部品 と し て は 、 具体的 に ほ 、 L C D , D C D 、 E C D 、 E し 、 P C D 、 I C 、 L S I 等 を 挙 げ る こ と がで き る 。 又、 液晶 テ レ ビ 用 ラ ス 板の 製造及 び保管の 際 に も 好適 に使用 で き る 。
    [0037] (図面の 簡単 な 説明 ）
    [0038] 第 1 〜 2 図 は キ ャ リ ア 用 治具の 斜視図、 第 3 図 は撖 送用 ゥ エ ー ハ パ ス ケ ッ ト の 平面図、 第 4 図は そ の側 面 図、 第 5 図 は収納 ケ ー ス 、 第 6 図 は搬送用 ゥ エ ー ハ バ ス ケ ッ ト が収衲 ケ ー ス に納 ま っ た状態の 喀図 を 示 す 。 1 … ゥ エ ー ハ 支持部、 2 … ゥ エ ー ハ 支持用溝、 3 … 固 定部、 4 "·側板、 5 …溝、 6 … 上板、 7 ， 1 1… ゥ エ ー ハ 、 8 … ゥ エ ー ハ キ ャ リ ア 、 9 … バ ス ケ ッ ト 、 1 0… 収 納 ケ ー ス 。
    [0039] (発 明 を実施 す る た め の最良の 形態 ） 以下 に実施例 を挙 げて説 明 す る 。
    [0040] 実施例 1 〜 1 3及 び比較例 1 〜 5
    [0041] 第 1 表 に 記載の配合組成物 を ニ轴押出混練機 を 用 い て押出ペ レ ツ ト 化 を 行っ た。 こ れ を 射 出成形檨 に て 成 形 し 、 第 1 図及 び 第 2 図 に示 す キ ャ リ ア 用 治具、 第 3 図及 び 第 4 図 に 示 す搬送用バ ス ケ ッ ト 、 第 5 図 に 示 す 収納 ケ ー ス を作成 し た。 第 6 図ほ搬送用 バ ス ケ ッ ト が 収納 ケ ー ス に納 ま っ た状態 の 略図で あ る 。
    [0042] ゥ エ ー ハ の 汚染状況ほ 3 ヶ 月 間 ゥ エ ー ハ 製造工程で 使用 し 、 上記成形品の 状況及 び ゥ エ ー '、 への 影響 を観 察 し た 。 結果 を 第 1 表 に 示 す 。 尚 、 表に お い て A は 成 形品 に ゥ ハ の揷脱着 に よ る 傷が認め ら れ、 B は ゥ ハ に 多 .く の.塵埃が付着 し て い る こ と を 示 す 。
    [0043] 第 1 表 施 例
    [0044] 1 2 3 4 5 6 7 o 9 ポリスチレン 70 -
    [0045] A B S樹脂 70
    [0046] ポリフエ二 ι >ォキシド 70
    [0047] アイ オ 樹脂 70
    [0048] ポリエチレン 70
    [0049] ポリブロビレン 70
    [0050] 6ナイ ロン 70
    [0051] 6, 6ナイロン樹脂 70 芳香族ポリアミ ド樹脂 70 ポリ カーボネー ト
    [0052] ポリアセタール
    [0053] ボリフエ-レンサルフアイ ド
    [0054] ト 、) メチルベンテン樹脂
    [0055] チタン酸力 リウム繳維 30 30 30 30 30 30 30 30 30 ラス鐡維
    [0056] マイ 力
    [0057] カーボンブラック
    [0058] 成形品の状況 良 良 良 良 良 良 良 良 良 ゥ への影饗 無 無 無 1 j 3ffi 無 第 1 表 （続き）
    [0059]
    [0060] 実施例 1 4 〜 1 8及 び比較例 6
    [0061] 第 2 表 に記載の配合組成物 を 用 い た以外 は実施例 1 と 同様 に し て ゥ エ ー ハ 保持用 成形物 を作成 し た。 尚 、 表 に お い て C は ゥ エ ー ハ に極 く わ ず か に塵埃が付着 し て い る こ と を 示 す。 第 2 表
    [0062]
    [0063] 実施例 19〜 26
    [0064] 第 3 表に記載の配合組成物 を用 いた以外ほ実施例 1 と 同様に し ： C ゥ エ ー ハ保持用成形物 を作成 し た。 尚、 デ ン ト ー ル W K 200ほ導電性チ タ ン酸 力 リ ゥ ム ウ イ ス カ ー （大塚化学製）で あ り 、 表面抵抗値は J I S
    [0065] K 6911に準ず る 方法 にて測定 し た。
    [0066] 第 3 表
    [0067]
    [0068] P E S ビ ク ト レ ッ ク ス P E S 4100 G
    [0069] ( I C I )
    [0070] P E E K ビ ク ト レ ッ ク ス P E E K 450 G
    [0071] ( I C I )
    [0072] P E K ビ ク ト レ ッ ク ス P E K 220 G
    [0073] ( I C I )
    [0074] P S F ユ ー デ ル ポ リ サ ル フ ォ ン P 1700
    [0075] (A M O C O )
    [0076] P E I ポ リ エ ー テ ル ィ ミ ド ウ ル テ 厶 1000
    [0077] ( G E ) P A S F ポ リ ア リ ル サ ル フ ォ ン レ ー デ ル A 400
    [0078] ( U C C )
    [0079] n A H i h T emperature, E ngineering'
    [0080] T hermoplastic H T A 7600 G
    [0081] ( I C I )
    [0082] P F A フ ッ 化ア ル コ キ シ エ チ レ ン 樹脂
    [0083] (三井 フ ロ ロ ケ ミ カ ル ）
    [0084] 実施例 27及び比較例 ？ 〜 8
    [0085] 第 4 表に記載の配合組成物 を 用 いた以外は実施例 1 と 同様に し て ゥ エ ー ハ保持用成形物 を -作成 し た。 尚、 デ ン ト ー ル B K 200は導電性チ タ ン酸 力 リ ゥ ム ウ イ ス カ ー （大塚化学製）で あ る 。
    [0086] ゥ ェ ー ハの汚染状況は 3 ヶ 月 間 ゥ エ ー ハ をパ ス ケ ッ ト に衲めた状態で ク リ ー ン ル ー ム 内 に放置 し 、 ゥ エ ー ハの暴 り を 目 視で判定 し た。 表面抵抗値は上記 と 同様 J I S K 6911に準ず る 方法 に て測定 し た。 帯電防止 維持性につ い て は 30分間水浴中 に浸漬 し た後 3 時間室 温に て放置 す る 工程 を 5 回繰 り 返 し、 表面抵抗値 を測 定 し 、 耐久性 を判定 し た。
    [0087] 第 4 失邐例" iu^ WI o
    [0088] ポリプロピレン（1) 70
    [0089] ポリプロピレン ） 70
    [0090] ボリブロピレン（3) 70
    [0091] デン ト ール B K200 30 30 30
    [0092] ゥエーハの汚染度 暴りなし わずかに鐾る 一面に罃る
    [0093] 帯電防止維持性 良好 良好 良好
    [0094] 表面抵抗値（Ω) 105 105 105
    [0095] (注 ） ポ リ プ ロ ピ レ ン （ 1 )は酸化防止剤及 び過酸化物分 解剤 と し て テ ト ラ キ ス 〔 メ チ レ ン 一 3 — （3，，5 '— ジ 一 tー ブ チ ル ー 4 ， ー ヒ ド ロ キ シ フ エ ニ ル ） プ ロ ピ オ ネ ー ト 〕 メ タ ン 300ρριη、 ト リ ス （ジ ノ ニ ル フ エ ニ ル ） ホ ス フ ア イ ト 500ppB»、 塩酸吸収剤 と し て ス テ ア リ ン 酸 カ ル シ ゥ ム 400ρρκιを 含 む も の で あ る 。
    [0096] ポ リ プ π ピ レ ン （ 2 )は酸化防止剤及 び過酸化物分解 剤 と し て テ ト ラ キ ス ！： メ チ レ ン 一 3 — （3,，5， ー ジ ー t ー ブ チ ル ー 4 ,ー ヒ ド ロ キ シ フ エ ニ ル ） プ ロ ピ オ ネ ー ト 〕 メ タ ン 1000ppui、 ト リ ス （ ジ / ル フ ェ ニ ル ）ホ ス フ ア イ ト IOOOPPKU 塩酸吸収剤 と し て ス テ ア リ ン 酸 カ ル シ ゥ ム lOOOppmを 含 む も の で あ る 。
    [0097] ポ リ プ D ピ レ ン （ 3 )は酸化防止剤及 び過酸化物分解 剤 と し て テ ト ラ キ ス 〔 メ チ レ ン 一 3 — (3，，5， ー ジ ー t ー ブ チ ル ー 4 ， ー ヒ ド ロ キ シ フ エ ニ ル ） プ ロ ピ オ ネ ー ト 〕 メ タ ン 500pp!a、 2，6— ジ ー tー ブ チ ル ー p— ク レ ゾ ー ル 600ppm、 ジ ミ リ ス チ ル チ オ ジ プ ロ ピ オ ネ ー ト 900ρρκι、 塩酸吸収剤 と し て ス テ ア リ ン 酸 カ ル シ ウ ム lOOOppmを 含 む も の で あ る 。
    [0098] 実施例 〜 33及 び比較例 9
    [0099] 第 5 表 に記載の配合組成物 を実施例 1 と 同様の工程 で、 同 じ ゥ エ ー ハバ ス ケ ッ ト 及 び収納 ケ ー ス 金型 を使 用 し て成形 し 、 表面抵抗値 と 塵埃の付着 につ い て評価 し た 。 . 第 5 表
    [0100]
    [0101] (産業上の 利用可能性 ）
    [0102] 本発 明 は ゥ エ ー ハ 及 び液晶 テ レ ビ 用 の ガ ラ ス 板 を 取 り 极 ぅ 際 に 用 い ら れ る 搬送用バ ス ケ ッ ト 、 収納 ケ ー ス 及び キ ヤ リ ア 用治具等の ゥ エ ー ハ保持用 成形物 に お い て、 半導体 ゥ エ ー ハ を 汚染 す る こ と な く 洗浄、 乾燥、 移動又は保管 す る の に有用 で あ る 。
    权利要求:
    Claims 請求の範囲
    1 . ウ イ ス 一 に て補強さ れた熱可塑性樹脂か ら 成 る ゥ エ ー ハ保持用成形物。
    2 . ゥ イ ス カ ー がチ タ ン酸 カ リ ウ ム緣維で あ る 請求の 範囲第 1 項記載の ゥ エ ー ハ保持用成形物。
    3 . ゥ イ ス カ ー が導電性チ タ ン 酸 カ リ ウ ム織維で あ る 請求の範囲 第 1 項記載の ゥ エ ー ハ保持用成形物。
    4 . 熱可塑性樹脂がポ リ エ ー テ ル ケ ト ン 、 ポ リ ェ ― テ ル エ ー テ ル ケ ト ン 、 ポ リ エ ー テ ル ス ル ホ ン 、 ポ リ エ ー テ ル イ ミ ド 、 ポ リ サ ル フ ォ ン 、 ポ リ ア リ ル サ ル フ ォ ン ， テ ト ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン / ^ パ ー フ ル ォ ロ ア ル コ キ シ ェ チ レ ン 共重合体、 テ ト ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン /へ キ サ フ ル ォ ロ ブ ロ ビ レ ン 共重合体、 ハ イ テ ン プ リ チ ヤ ー ァ モ ル フ ァ ス樹臜及 び液晶ポ リ マ — か ら 選ばれる少な く と も 1 種で あ る 請求の範囲 第 1 項記載の ゥ エ ー ハ保持用 成形物。
    5 . 熱可塑性樹脂が ポ リ プ ロ ピ レ ン で あ り 、 ポ リ プ ロ ビ レ ン に添加配合さ れて い る 酸化防止剤（ も し く ほ過 酸化物分解剤）が 10〜 ： lOOOppou 塩酸吸収剤が 200〜 500 ppmで あ る 請求の範囲第 1 項記載の ゥ エ ー ハ保持用成 形物。
    6 . ゥ エ ー ハ保持用成形物が ゥ エ ー ハ バ ス ケ ッ ト 、 収 納 ケ ー ス 又は キ ャ リ ア 用治具で あ る 請求の範囲第 1 項 記載の ゥ エ ー ハ保持用成形物。
    7 . 半導体 ゥ エ ー ハ の洗铮、 乾燥、 掇送又は収納保管 に使用 さ れ る 請求の範囲第 1 項記載の ゥ エ ー ハ保持用 成形物。
    8 . 液晶 テ レ ビ 用 ガ ラ ス 板の洗浄、 乾燥、 搬送叉は収 納保管'に使用 さ れ る 請求の範囲 第 1 項記載の ゥ エ ー ハ 保持用成形犊。
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    HK1007930A1|2000-04-28|
    EP0436030B1|1998-10-21|
    JPH0341747A|1991-02-22|
    EP0436030A1|1991-07-10|
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    EP0436030A4|1992-08-12|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1991-01-24| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    1991-01-24| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB IT LU NL SE |
    1991-03-05| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1990910186 Country of ref document: EP |
    1991-07-10| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1990910186 Country of ref document: EP |
    1998-10-21| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1990910186 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP1/176795||1989-07-07||
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